PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 李新 ; 唐桢安 ; 徐军 ; 鲍海飞 |
| 出版日期 | 2005 |
| 会议名称 | 第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年 |
| 会议日期 | 2005 |
| 关键词 | 类金刚石膜 原子力显微镜 纳米摩擦 等离子源离子注入 |
| 中文摘要 | 本文采用等离子源离子注入(PSII)技术在硅衬底上制备薄膜,利用Raman光谱表征制备薄膜的类金刚石特性.详细介绍了采用原子力显微镜(AFM)进行纳米摩擦实验的原理,并利用其研究制得DLC膜的纳米摩擦特性.研究结果表明,制得DLC膜的摩擦系数较小,具有耐磨损性能,而且反应气体流量对薄膜的纳米摩擦特性有较大影响.PSII技术制备的DLC膜具有较好的纳米摩擦特性,并有望使可动MEMS的摩擦问题得到真正意义上的突破。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6051048.aspx |
| 会议录 | 第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55886]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李新,唐桢安,徐军,等. PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究[C]. 见:第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年. 2005.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6051048.aspx. |
入库方式： OAI收割
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