服务于微电子产业的MEMS新技术
文献类型：会议论文
| 作者 | 程融 ; 蒋珂玮 ; 李昕欣 |
| 出版日期 | 2009 |
| 会议名称 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2009 |
| 关键词 | 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械 |
| 中文摘要 | UV-LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术，结合厚胶工艺,可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV-LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容,被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面,还可以将金属电镀工艺与硅微机械技术相结合,制作出用于圆片级测试的微机械探卡。文中主要介绍这种有产业前景的技术及其在器件制作上取得的成果。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283913.aspx |
| 会议录 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55924]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程融,蒋珂玮,李昕欣. 服务于微电子产业的MEMS新技术[C]. 见:第11届全国敏感元件与传感器学术会议. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283913.aspx. |
入库方式： OAI收割
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