片上集成MEMS射频滤波器
文献类型：会议论文
| 作者 | 吴争争 ; 顾磊 ; 李昕欣 |
| 出版日期 | 2009 |
| 会议名称 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2009 |
| 关键词 | 硅集成电路 射频滤波器 MEMS工艺 片上系统 |
| 中文摘要 | 研究采用MEMS工艺技术制造可在硅集成电路片上集成的射频滤波器。MEMS工艺技术实现了高性能嵌入式螺管电感和金属-绝缘层-金属电容元件的集成制造。整个微加工制造工艺为低温工艺,可与CMOS集成电路工艺实现后端集成.基于此工艺,设计和实现了应用于5GHz射频频段的微小化的片上集成滤波器,包括一种低通滤波器和一种带通滤波器。测试结果表明,5阶低通滤波器的-1.5dB转折频率在5.3GHz频率,从直流到5GHz频率的插入损耗小于1.06dB。实现的带通滤波器为两阶谐振耦合式,在中心频段5.3 GHz的最小插入损 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283834.aspx |
| 会议录 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55929]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴争争,顾磊,李昕欣. 片上集成MEMS射频滤波器[C]. 见:第11届全国敏感元件与传感器学术会议. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283834.aspx. |
入库方式： OAI收割
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