高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析
文献类型:会议论文
作者 | 鲍海飞 ; 李昕欣 ; 宋朝辉 ; 张鲲 ; 刘民 ; 陆德仁 |
出版日期 | 2009 |
会议名称 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议 |
会议日期 | 2009 |
关键词 | 高量程压阻 加速度传感器 横向响应 波形比较法 自由落杆 微机电系统 |
中文摘要 | 文中提出了一种高量程压阻加速度传感器的灵敏度和横向灵敏度参数在动态冲击环境下的简易测试方法。采用金属杆自由落体的比较法,即将待测试的加速度传感器和已标定过的加速度传感器以背靠背的形式固定在金属杆的尾端,金属杆从一定高度自由落下与放置在地面上的金属砧发生相互碰撞,利用双通道放大器和计算机数据采集系统同时记录两路信号。实验中分别对6000g和60000g的压阻加速度传感器进行了研究,该方法具有较好的重复性和可靠性,并分析了测试偏差来源对横向响应的影响。 |
会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283799.aspx |
会议录 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
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语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55939] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲍海飞,李昕欣,宋朝辉,等. 高量程压阻加速度传感器横向响应的测试及分析[C]. 见:第11届全国敏感元件与传感器学术会议. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283799.aspx. |
入库方式: OAI收割
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