两维碰撞加速度传感器及其实用化
文献类型：会议论文
| 作者 | 周伟 ; 刘民 ; 姜伟 ; 李昕欣 |
| 出版日期 | 2009 |
| 会议名称 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2009 |
| 关键词 | 加速度传感器 碰撞冲击测量 两维碰撞 MEMS加工 模块化封装 |
| 中文摘要 | 基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固有频率15kHz。传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4V,带宽500Hz。传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283779.aspx |
| 会议录 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55947]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周伟,刘民,姜伟,等. 两维碰撞加速度传感器及其实用化[C]. 见:第11届全国敏感元件与传感器学术会议. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283779.aspx. |
入库方式： OAI收割
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