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高阻SOI在射频电路中的应用优势

文献类型:会议论文

作者骆苏华 ; 刘卫丽 ; 张苗 ; 刘奇斌 ; 林成鲁
出版日期2003
会议名称第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
会议日期2003
关键词高阻SOI 射频电路 RF电路性能
中文摘要本文主要概述了基片电阻率对集成电路性能的影响,采用高阻SOI大大提高了RF电路性能,为CMOS在GHz频域的应用提供了发展基础.
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5203759.aspx
会议录第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55990]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
骆苏华,刘卫丽,张苗,等. 高阻SOI在射频电路中的应用优势[C]. 见:第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5203759.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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