微机械光读出热成像系统
文献类型：会议论文
| 作者 | 冯飞 ; 焦继伟 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 微机电系统(MEMS) 光读出热成像 焦平面阵列 可动微镜 |
| 中文摘要 | 本文提出了一种新颖的非致冷热成像系统—光读出热成像系统,其焦平面阵列是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成的可动微镜阵列,红外热效应、双材料梁的双金属片效应以及光调制原理是该系统的工作基础.采用体硅MEMS技术,成功地制作出了50×50的可动微镜阵列,芯片尺寸为5.5×5.5mm<'2>. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5103805.aspx |
| 会议录 | 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56025]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞,焦继伟,熊斌,等. 微机械光读出热成像系统[C]. 见:2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5103805.aspx. |
入库方式： OAI收割
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