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热堆红外探测器模型的建立

文献类型:会议论文

作者刘月英 ; 沈德新
出版日期2003
会议名称第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期2003
关键词热电偶 微电子 微机械 红外辐射 热电堆传感器
中文摘要基于薄膜热电偶结构的热电堆器件被广泛地应用于各个领域:如辐射探测器,气流检测计,以及真空计等.随着微电子技术的发展,器件地不断优化,该结构器件的优越性逐渐被人们所认识.文章对热电堆的基本工作原理进行了分析.在此基础上建立的数学模型较为准确地反映了器件的工作状态.并且利用这个模型所计算出的热电堆的主要工作参数与实验结果比较,验证了此模型的正确性.
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504928.aspx
会议录第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56031]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
刘月英,沈德新. 热堆红外探测器模型的建立[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504928.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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