传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示
文献类型：会议论文
| 作者 | 王跃林 ; 王渭源 ; 李昕欣 ; 焦继伟 ; 陆德仁 ; 熊斌 ; 罗乐 ; 吴亚明 ; 李铁 ; 杨建义 |
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 第八届敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 微机电系统 微光机电系统 传感器 |
| 中文摘要 | 近年来,国际上微电子技术的飞速发展极大地促进了传感器的研究.本文回顾了传感技术国家联合重点实验室传感器研究的起步,在微机电系统以及微光机电系统领域的涉足和发展.对十六年来的工作进行了总结和分析,希望可以得到一些有价值的启示,以期对我国传感技术及MEMS的发展能提供一定的借鉴作用. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504892.aspx |
| 会议录 | 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56038]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王跃林,王渭源,李昕欣,等. 传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504892.aspx. |
入库方式： OAI收割
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