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微通道电泳芯片的一种制作方法

文献类型:会议论文

作者徐良基 ; 金庆辉 ; 赵建龙 ; 徐元森
出版日期2002
会议名称毛细管电泳进展(五)--第五届全国毛细管电泳及相关微分离分析学术报告会文集
会议日期2002
关键词毛细管电泳 微通道电泳芯片 湿法刻蚀 玻璃芯片
中文摘要微通道电泳芯片的基体材料主要有硅片、石英玻璃、普通玻璃和有机高聚物等,每种材料有不同的制作方法.本文以玻璃为基体材料制作电泳芯片为研究对象,一般经过刻蚀和键合两步工艺,文中采用湿法刻蚀的方法进行制作。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6061986.aspx
会议录毛细管电泳进展(五)--第五届全国毛细管电泳及相关微分离分析学术报告会文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56075]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
徐良基,金庆辉,赵建龙,等. 微通道电泳芯片的一种制作方法[C]. 见:毛细管电泳进展(五)--第五届全国毛细管电泳及相关微分离分析学术报告会文集. 2002.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6061986.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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