Al<,2>O<,3>电容式露点仪测量中的主要误差分析
文献类型：会议论文
| 作者 | 毛平天 ; 陆新根 ; 殷家忠 |
| 出版日期 | 2002 |
| 会议名称 | 2002年全国湿度、水分、气体学术交流会 |
| 会议日期 | 2002 |
| 关键词 | 露点仪 测量 误差分析 净化气体检测 吸附现象 |
| 中文摘要 | 本文详细介绍净化空气中露点的检测概况,Al<,2>O<,3>电容式露点仪测量中的主要误差分析及一些问题的讨论如传感器的永久性慢漂移等. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_4403606.aspx |
| 会议录 | 2002年全国湿度、水分、气体学术交流会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56123]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛平天,陆新根,殷家忠. Al<,2>O<,3>电容式露点仪测量中的主要误差分析[C]. 见:2002年全国湿度、水分、气体学术交流会. 2002.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_4403606.aspx. |
入库方式： OAI收割
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