单晶硅纳米梁的分子动力学模拟
文献类型：会议论文
| 作者 | 曹共柏 ; 焦继伟 ; 陈云飞 ; 李铁 ; 杨恒 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2006 |
| 会议名称 | 传感技术学报 |
| 会议日期 | 2006 |
| 关键词 | 分子动力学 有限元 连续介质近似 谐振频率 |
| 中文摘要 | 本文采用经典的分子动力学方法,分析了两端固支的纳米梁的力学行为特征.在初始应变下,梁的表面原子发生了重构,而初始应变能仅是重构能的1％,随着分子动力学迭代的开始,初始应变能逐渐转化为梁中原子的热运动动能和梁的谐振能量.从其能量的变化曲线得到,梁的谐振频率为2.32×1010Hz.与连续介质近似结果对比发现,该谐振频率对应的杨氏模量为101 GPa,小于体硅的131 GPa,说明在该尺度下杨氏模量小于体材料.另外,分子动力学结果显示,发热是纳米梁耗散机制的重要方式,即谐振能量转化为梁中原子的热运动动能. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6219271.aspx |
| 会议录 | 传感技术学报
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56142]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹共柏,焦继伟,陈云飞,等. 单晶硅纳米梁的分子动力学模拟[C]. 见:传感技术学报. 2006.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6219271.aspx. |
入库方式： OAI收割
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