金属钌电镀
文献类型：会议论文
| 作者 | 嵇永康 ; 木名濑隆 ; -卫中领 ; 周延伶 |
| 出版日期 | 2006 |
| 会议名称 | 2006年电子电镀学术报告会资料汇编 |
| 会议日期 | 2006 |
| 关键词 | 镀钌 工艺分析 镀铑 镀钯 |
| 中文摘要 | 分别介绍了金属钌的物理特性和亚硝基氯化钌镀钌、钌酸钾镀钌、硫酸钾镀白色钌和黑色钌的工艺规范,氨基磺酸镀白色钌和氨基磺酸镀黑色钌的工艺规范及各种应用实例;指出了氨基磺酸的加入对镀液的稳定性及镀层性能的提高所起的作用.比较了钌、铑和钯镀层的性能,并介绍了钌镀层性能的测试方法.说明了钌镀层的工业用途. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6246008.aspx |
| 会议录 | 2006年电子电镀学术报告会资料汇编
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56143]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 嵇永康,木名濑隆,-卫中领,等. 金属钌电镀[C]. 见:2006年电子电镀学术报告会资料汇编. 2006.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6246008.aspx. |
入库方式： OAI收割
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