一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器
文献类型：会议论文
| 作者 | 黄树森 ; 李昕欣 ; 戈肖鸿 ; 解健芳 ; 陈士清 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 第八届敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 微梁直拉直压 压阻 加速度传感器 有限元模拟 深反应离子刻蚀(DRIE) |
| 中文摘要 | 本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频率.基于该传感器的设计规则,设计了各种量程的传感器.给出了使用SOI硅片制作传感器的制造工艺.工艺过程包括一次反应离子刻蚀和一次深反应离子刻蚀(DRIE).本文最后给出了器件的封装和特性测试结果. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504954.aspx |
| 会议录 | 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56200]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄树森,李昕欣,戈肖鸿,等. 一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504954.aspx. |
入库方式： OAI收割
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