难熔金属与n-GaAs的欧姆接触
文献类型：会议论文
| 作者 | 刘文超 ; 夏冠群 ; 周健 ; 李冰寒 |
| 出版日期 | 2002 |
| 会议名称 | 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 |
| 会议日期 | 2002 |
| 关键词 | 难熔金属 砷化镓 欧姆接触 半导体器件 |
| 中文摘要 | 本文对欧姆接触的基本原理进行了简要的阐述;并对Au/Ti/W/Ti多层金属和n-GaAs材料的欧姆接触进行了研究.结果表明接触在高温合金化后呈现欧姆特性可能和合金化后在接触界面处生成的TiAs相有关. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_4101040.aspx |
| 会议录 | 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56218]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘文超,夏冠群,周健,等. 难熔金属与n-GaAs的欧姆接触[C]. 见:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议. 2002.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_4101040.aspx. |
入库方式： OAI收割
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