基于SIMOX技术耐高温微型油井压力传感器研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 王权 ; 丁建宁 ; 王文襄 ; 熊斌 |
| 出版日期 | 2004 |
| 会议名称 | 2004年中国机械工程学会年会 |
| 会议日期 | 2004 |
| 关键词 | 高温压力传感器 SIMOX 耐高温封装 补偿电路 封装工艺 |
| 中文摘要 | 本文针对石油化工领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片,在微加工平台上制作了该芯片;对不同的用户工况设计了专门的装配结构,采用耐高温封装工艺,研究了耐高温微型压力传感器封装材料匹配与热应力消除技术,解决了内外引线的技术难点;从低成本、易操作性出发,设计了温度系数补偿电路,研制出了高精度稳定件佳的耐高温微油井压力传感器. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6075440.aspx |
| 会议录 | 2004年中国机械工程学会年会论文集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56238]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王权,丁建宁,王文襄,等. 基于SIMOX技术耐高温微型油井压力传感器研究[C]. 见:2004年中国机械工程学会年会. 2004.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6075440.aspx. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。