基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 肖素艳 ; 车录锋 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 出版日期 | 2005 |
| 会议名称 | 中国机械工程 |
| 会议日期 | 2005 |
| 关键词 | 温度传感器 柔性衬底 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻 |
| 中文摘要 | 本文基于柔性MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上成功制作出8×8阵列的铂薄膜电阻微温度传感器.该器件特别适用于复杂几何体高曲率表面温度的实时监控.采用了两种方法制作柔性器件:第一种方法是将液态聚酰亚胺旋涂在有氧化物牺牲层的载体硅片上;第二种方法是用胶粘剂将P16051膜暂时粘在载体硅片上,然后分别在两种柔性PI衬底上制作铂薄膜热敏电阻温度传感器,最后将器件从硅片载体上分离下来.采用低温(小于300℃)工艺技术减小了PI柔性衬底的热循环.实验测试结果表明,PI衬底上的铂薄膜热敏电阻具备良好的线性度,其电阻 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6022197.aspx |
| 会议录 | 中国机械工程
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56252]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖素艳,车录锋,李昕欣,等. 基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究[C]. 见:中国机械工程. 2005.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6022197.aspx. |
入库方式： OAI收割
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