磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响
文献类型：会议论文
| 作者 | 于伟东 ; 柳襄怀 ; 王曦 |
| 出版日期 | 2011 |
| 会议名称 | 第八届学术年会 |
| 会议日期 | 2011 |
| 关键词 | 金属等离子 磁控溅射 离化率 沉积速率 磁控靶 |
| 中文摘要 | 本文采用朗缪尔探头法和台阶仪法相结合对射频增强非平衡磁控溅射(RF-UBM)产生的金属等离子体的特性进行了测定,主要测量了不同靶材下金属粒子的沉积速率和金属等离子体的离化率.并讨论了对临界起辉点参数的影响。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6041221.aspx |
| 会议录 | 第八届学术年会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56256]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于伟东,柳襄怀,王曦. 磁控靶材料对极低气压下RF-UBM金属等离子体特性的影响[C]. 见:第八届学术年会. 2011.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6041221.aspx. |
入库方式： OAI收割
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