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PEFAD法制备纳米结构碳材料初探

文献类型:会议论文

作者于伟东 ; 张福民 ; 张继华 ; 王曦
出版日期2005
会议名称第八届学术年会
会议日期2005
关键词纳米结构碳 等离子体 磁过滤沉积
中文摘要  本文介绍了等离子体增强磁过滤沉积法的特点,特别强调它与其它制备纳米结构碳材料方法的不同.它采用了分立的碳源,避免了由于碳源中含有氢元素对研究其生长过程的影响,具有开发自主知识产权的制备纳米结构碳材料的方法的潜力.采用这种方法进行了初步的制备纳米结构碳材料的研究.获得了具有纳米尺寸的碳团簇薄膜。
会议网址http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6041220.aspx
会议录第八届学术年会论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56257]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
于伟东,张福民,张继华,等. PEFAD法制备纳米结构碳材料初探[C]. 见:第八届学术年会. 2005.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6041220.aspx.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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