PEFAD法制备纳米结构碳材料初探
文献类型:会议论文
作者 | 于伟东 ; 张福民 ; 张继华 ; 王曦 |
出版日期 | 2005 |
会议名称 | 第八届学术年会 |
会议日期 | 2005 |
关键词 | 纳米结构碳 等离子体 磁过滤沉积 |
中文摘要 | 本文介绍了等离子体增强磁过滤沉积法的特点,特别强调它与其它制备纳米结构碳材料方法的不同.它采用了分立的碳源,避免了由于碳源中含有氢元素对研究其生长过程的影响,具有开发自主知识产权的制备纳米结构碳材料的方法的潜力.采用这种方法进行了初步的制备纳米结构碳材料的研究.获得了具有纳米尺寸的碳团簇薄膜。 |
会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6041220.aspx |
会议录 | 第八届学术年会论文集
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语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56257] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 于伟东,张福民,张继华,等. PEFAD法制备纳米结构碳材料初探[C]. 见:第八届学术年会. 2005.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6041220.aspx. |
入库方式: OAI收割
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