材料微米和纳米尺度的无损评估
文献类型：会议论文
| 作者 | 钱梦騄 ; 赵亚军 ; 程茜 |
| 出版日期 | 2009 |
| 会议名称 | 2009年上海-西安声学学会学术交流会 |
| 会议日期 | 2009 |
| 关键词 | 纳米尺度 电子声显微镜 材料微米 无损评估 |
| 中文摘要 | 随着现代材料科学，纳米技术，微电子技术，MEMS和NEMS技术的迅速发展，以及新型研发和应用的不断深入，迫切需要进一步了解材料的微区(微米-纳米尺度上)的结构和性能，微区再结晶、Kirkendall空穴等新的缺陷和损伤的形成机理，以确保微系统和材料的安全可靠。本文介绍了扫描电子声显微镜(SEAM)和扫描探针显微镜(SPM)等材料微米和纳米尺度的无损评估的技术。 |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7292142.aspx |
| 会议录 | 2009年上海-西安声学学会学术交流会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56274]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 钱梦騄,赵亚军,程茜. 材料微米和纳米尺度的无损评估[C]. 见:2009年上海-西安声学学会学术交流会. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7292142.aspx. |
入库方式： OAI收割
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