电化学在微型机电系统中的应用
文献类型：会议论文
| 作者 | 田中群 ; 孙建军 ; 黄海苟 ; 程旋 ; 蒋利民 ; 田昭武 |
| 出版日期 | 2000 |
| 会议名称 | 《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期 |
| 会议日期 | 2000 |
| 关键词 | 微机电系统 电化学 纳米加工 |
| 中文摘要 | 通过列举电化学在微型机电系统中的应用,表明电化学在MEMS的微加工、微型电源和许多基础问题方面皆大有可为,同时微系统的兴起也为电化学提供新的发展机遇. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_305090.aspx |
| 会议录 | 《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56278]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田中群,孙建军,黄海苟,等. 电化学在微型机电系统中的应用[C]. 见:《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期. 2000.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_305090.aspx. |
入库方式： OAI收割
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