GaInAsSb红外探测器的硫钝化和退火研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 黄文奎 ; 夏冠群 ; 周萍 ; 李志怀 |
| 出版日期 | 2002 |
| 会议名称 | 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 |
| 会议日期 | 2002 |
| 关键词 | GaInAsSb 红外探测器 硫钝化 退火处理 暗电流 动态电阻 半导体材料 |
| 中文摘要 | 暗电流和动态电阻是反映红外探测器性能的重要参数,材料表面的处理可以很大程度上改善探测器的性能.本文介绍了硫钝化和退火处理对于GaInAsSb红外探测器的暗电流特性的改善和动态电阻的提高. |
| 会议网址 | http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_4101081.aspx |
| 会议录 | 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56284]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄文奎,夏冠群,周萍,等. GaInAsSb红外探测器的硫钝化和退火研究[C]. 见:第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议. 2002.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_4101081.aspx. |
入库方式： OAI收割
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