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高量程微加速度计的冲击标定

文献类型:会议论文

作者鲍海飞 ; 陆德仁
出版日期2006
会议名称第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集
会议日期2006
中文摘要隐藏在完全封装之中的微机械器件其敏感部分的机械形变不容易直接检测出来,这在高量程微加速度计的冲击标定实验上就带来了难度。在自由落体冲击实验中,需要确定与灵敏度相关的速度增量变量,即测试加速度计的速度增量和理想情况下的落体速度增量之比。为了确定这个增量,实验上选择了一些具有较好带宽和较好线性度的微加速度计作为测试器件。为了把振动系统中测试得到的灵敏度用到整个工作频带内,在冲击实验中,采用波形整形技术获得较好的半正弦波形输出,由此可以精度确定速度因子。大量实验表明自由落杆的速度增量并不能简单地被认为是器件敏感
会议录第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56438]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
鲍海飞,陆德仁. 高量程微加速度计的冲击标定[C]. 见:第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集. 2006.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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