玻璃基硅光波导的研制
文献类型：会议论文
| 作者 | 李广波 ; 龙文华 ; 贾科淼 ; 江晓清 ; 王明华 ; 王跃林 ; 杨建义 |
| 出版日期 | 2005 |
| 会议名称 | 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 |
| 会议日期 | 2005 |
| 中文摘要 | 本文采用硅-玻璃键合和选择性腐蚀技术研制出了玻璃上硅(SOG)光波导材料。所研制出的光波导材料表面质量主要取决于所用绝缘体上硅(SOI)材料。当所用SOI材料为基于SIMOX技术的材料时,表面RMS粗糙度为3nm左右,自相关长度为100nm左右。采用SOG材料所制作出的脊型光波导的传输损耗与相应的SOI材料上制作出的光波导相当,甚至略优。这种光波导材料既具有SOI 材料的众多优点,还可以在器件制作中同时实施硅的下界面处理,如下电极制作等,同时它采用玻璃作为波导的下限制层,得到较厚的下限制层。 |
| 会议录 | 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56490]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李广波,龙文华,贾科淼,等. 玻璃基硅光波导的研制[C]. 见:浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集. 2005. |
入库方式： OAI收割
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