SOI高温及超高温压力传感器的开发与研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 王文襄 ; 刘秀娥 ; 王麦广 ; 张轩雄 ; 朱作云 ; 梁俊吾 |
| 出版日期 | 2000 |
| 会议名称 | 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集 |
| 会议日期 | 2000 |
| 中文摘要 | 压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案。取消隔离PN结是问题的关键。传统的SOS法很不理想。本文报道了作者在现代三维微电子技术及微机械加工技术基础上,用SDB法开发的SOI硅高温压力传感器的成果及与碳化硅高温压力传感器研究成果结合开展的SOI型超高温压力传感器的研究。 |
| 会议录 | 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56524]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王文襄,刘秀娥,王麦广,等. SOI高温及超高温压力传感器的开发与研究[C]. 见:2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集. 2000. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。