低量程高线性压阻式微机械加速度计
文献类型：会议论文
| 作者 | 金虎 ; 陆德仁 ; 沈绍群 ; 鲍敏杭 |
| 出版日期 | 2000 |
| 会议名称 | 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集 |
| 会议日期 | 2000 |
| 中文摘要 | 本文介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装。还详细介绍了静态和动态特性的检测。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应中主要是由于质量块(岛)质心偏离梁中平面,沿梁伸展方向(x向)惯性力分量产生的弯矩。讨论了调整上下盏板与中间质量块之间的气隙改善器件频响特性的原理。报道的压阻式微机械加速度传感器中最低量程为±1gn,线性度优于0.05%,灵敏度1mV/(gn·V),阻尼比0.7,带宽110Hz。 |
| 会议录 | 2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56526]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金虎,陆德仁,沈绍群,等. 低量程高线性压阻式微机械加速度计[C]. 见:2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集. 2000. |
入库方式： OAI收割
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