涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 骆如枋 |
| 出版日期 | 2000-12 |
| 会议名称 | 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集 |
| 会议日期 | 2000-12 |
| 中文摘要 | 大量事实表明,涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值要比Wohltjen公式的预期值大得多.与石英QCM和GLC测试结果对比,发现涂膜SAW气、湿敏传感器的实际响应值比纯质量效应响应值要超出2倍～5倍.产生这种现象的原因,是因为绝大多数聚合物涂膜均具有明显的黏弹性,在吸湿、吸气后会产生膜的溶涨软化,使膜的剪切模量明显下降,从而使传感器频降加剧;当膜的软化达到一定程度后,又会产生膜振荡,传感器振荡频律明显增加,响应曲线反弹上升;如果膜继续软化或膜的厚度较大,还可能发生膜的高次振荡.基于此可建立一个对涂膜SAW |
| 会议录 | 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集
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| 会议录出版者 | 郑州轻工业学院学报编辑部 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56580]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 骆如枋. 涂膜SAW的气、湿敏传感器响应特性研究[C]. 见:第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会论文集. 2000-12. |
入库方式： OAI收割
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