X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用
文献类型：会议论文
| 作者 | 唐圣明 ; 徐梅娣 ; 陈思琴 ; 林绥娟 |
| 出版日期 | 1994-12 |
| 会议名称 | 第八次全国电子显微学会议论文摘要集（Ⅱ） |
| 会议日期 | 1994-12 |
| 中文摘要 | <正>锫钛酸铅[Pb(Ti,Zr)O_3,简称 PZT]是一种新型的铁电薄膜材料,具有独特的电学,光学性能,有很广泛的应用价值。PZT 薄膜与器件的制造,均采用集成电路制造工艺。使用扫描电镜与 X 射线能谱仪对其进行工艺监控,可以得到比较满意的结果。 |
| 会议录 | 第八次全国电子显微学会议论文摘要集（Ⅱ）
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| 会议录出版者 | 《电子显微学报》编辑部 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56590]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐圣明,徐梅娣,陈思琴,等. X射线能谱仪在薄膜器件刻蚀中的应用[C]. 见:第八次全国电子显微学会议论文摘要集（Ⅱ）. 1994-12. |
入库方式： OAI收割
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