扫描电镜剖面EBIC方法
文献类型：会议论文
| 作者 | 唐圣明 ; 林绥娟 |
| 出版日期 | 1988-09 |
| 会议名称 | 第五次全国电子显微学会议论文摘要集 |
| 会议日期 | 1988-09 |
| 中文摘要 | <正> 一、引言扫描电镜EBIC(电子束感生)方法在半导体材料与器件的研究中,有其独特的优点,已被广泛应用。通常应用EBIC方法为平面法,即PN结界面平行于观察平面。本文介绍了剖面EBIC方法。在此方法中,PN结界面垂直于观察平面,成为直接暴露于大气中的自由面。这种疗法能比平面法更直观地表现结的性质,其示意图如图1所示。二、试样制备1.直接介理法:对于简单图形结构的半导体器件,可以采用直接介理芯片的方法。把介理后的芯片垂直放置,背面用银浆粘于半导体样品台的铜架上,与之做欧姆接触,作为一个电极引出。再用钨丝 |
| 会议录 | 第五次全国电子显微学会议论文摘要集
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| 会议录出版者 | 《电子显微学报》编辑部 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56614]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 唐圣明,林绥娟. 扫描电镜剖面EBIC方法[C]. 见:第五次全国电子显微学会议论文摘要集. 1988-09. |
入库方式： OAI收割
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