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Ge-SiO_2薄膜的发光研究

文献类型:会议论文

作者叶春暖 ; 汤乃云 ; 董业民 ; 吴雪梅 ; 诸葛兰剑 ; 余跃辉 ; 姚伟国
出版日期2001
会议名称第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集
会议日期2001
中文摘要采用射频磁控溅射技术制备了Ge-SiO_2薄膜,在N_2气氛下进行了不同温度的退火处理,分析了样品在室温下的光致发光(PL)特性.对薄膜的结构进行T表征,通过XRD、XPS、FTIR谱分析说明样品的发光特性与其结构相对应,394nm的发光是由GeO缺陷引起的,580nm的发光与SiO_x(x<2)中的某种发光中心相联系.
会议录第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集
会议录出版者重庆仪表材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料学会、《功能材料》编辑部、国家仪表功能材料工程技术研究中心
语种中文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56666]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
叶春暖,汤乃云,董业民,等. Ge-SiO_2薄膜的发光研究[C]. 见:第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集. 2001.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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