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0.18 微米自对准分栅闪存的工艺、器件与可靠性研究

文献类型:学位论文

作者董耀旗
学位类别博士
答辩日期2010
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师邹世昌
关键词分栅闪存 闪存耐久性 闪存微缩
学位专业微电子学与固体电子学
中文摘要半导体闪存具有非易失性、可电擦除以及存储密度高等特点,目前广泛应用于 各种数据与代码存储领域。分栅闪存作为半导体闪存的一个分支,由于其无“过擦 除效应”、编程效率高、擦除电压低和外围电路简单等优点,非常适用于低密度代码 存储与嵌入式闪存领域,因此得到了广泛研究。然而,分栅闪存已经发展到0.18 微 米自对准工艺,而已有的研究大部分仍然基于0.35 微米至0.25 微米的非自对准工艺。 因此,对于0.18 微米自对准分栅闪存进行系统研究,具有非常重要的学术意义与实 用价值。
语种中文
公开日期2012-03-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82459]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
董耀旗. 0.18 微米自对准分栅闪存的工艺、器件与可靠性研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2010.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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