MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 戚玉婕 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 电容式加速度传感器 反馈补偿参数 Q值 DSP |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | MEMS高Q值加速度传感器具有很低的热机械噪声和较高的灵敏度，在惯性导航、空间微重力测量及高精度勘探等方面有着广泛的应用。针对高分辨率、高精度地震勘探这一应用需求，高Q值加速度传感器采用闭环反馈接口电路进一步改善系统的动态响应特性。本论文针对闭环接口电路做了相关的实验和测试，设计了电容自动补偿模块。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82510]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 戚玉婕. MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
入库方式： OAI收割
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