基于环绕悬栅JFET管的数字时间式加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 戴斌 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 杨恒 |
| 关键词 | 微电子机械系统 加速度传感器 吸合时间 场效应管 电化学腐蚀 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 电容式加速度传感器是基于MEMS工艺的最重要的传感器之一。但是由于寄生效应和吸合效应的影响，在进一步微型化、集成化方面会更加困难。本论文研制一种数字式加速度传感器——基于环绕悬栅JFET管的吸合时间式加速度传感器，通过测量吸合时间来测量加速度，该传感器输出时间信号由环绕悬栅JFET管的漏极输出；此加速度计避免了寄生电容的影响，不受吸合电压的限制，其芯片面积可以远小于传统电容式加速度传感器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82526]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 戴斌. 基于环绕悬栅JFET管的数字时间式加速度传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
入库方式： OAI收割
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