微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 冷悦 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 焦继伟 |
| 关键词 | 微机电系统 微机械陀螺 深反应离子刻蚀 局域掩膜效应 热模型 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 基于MEMS 技术的微机械陀螺具有体积小、重量轻、可靠性高、适合批量化生 产等优点，具有广泛的应用前景。当前微机械陀螺研究中，器件性能指标的提升， 以及微陀螺与处理电路的集成，是两个受到关注的课题。 模态匹配式陀螺具有较高的Q 值和灵敏度，但制造过程中存在的工艺误差使得 很难保证驱动和检测模态的匹配，而深刻蚀过程则是工艺误差的重要来源。在已有 的对深刻蚀的研究报道的基础上，本文针对较少见诸报道的局域非对称图形对刻蚀 精度的影响展开研究。采用一种具有完全对称结构的模态匹配式微陀螺并制作了原 型器件，其测试结 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82535]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冷悦. 微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
入库方式： OAI收割
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