表面特异性分子自组装与微悬臂梁生化传感器
文献类型：学位论文
| 作者 | 陈滢 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 微机电系统 生化传感器 二氧化硅悬臂梁 表面应力 表面自组装 硅氧烷敏感膜 液相检测 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微悬臂梁传感器由于其结构简单、制作容易、灵敏度高等优点，近年来广泛应用于生化检测领域。本论文设计并制作了集成压阻的静态模式二氧化硅悬臂梁生化传感器。通过采用杨氏模量较低二氧化硅材料作为悬臂梁主体、在悬臂梁上集成超薄单晶硅压阻敏感电阻、使用热氧化的二氧化硅将压阻敏感电阻完全包裹进行绝缘等方法，提高了传感器的灵敏度和分辨率。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82555]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈滢. 表面特异性分子自组装与微悬臂梁生化传感器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
入库方式： OAI收割
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