基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨永亮 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 微机电系统 微波悬臂梁探针 电热驱动 压阻效应 界面陷阱。 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 作为MEMS领域的重要基本结构，微悬臂梁具有结构简单、制作容易等优点，广泛应用于探测器和传感器领域。本论文设计并制作了微波悬臂梁探针，研究了微悬臂梁生化传感器，并针对纳米尺度下微悬臂梁的常用检测方式——压阻效应进行了研究，提出并制作了纳米尺度下界面电子陷阱产生的巨压阻效应。 针对微波磁阻抗扫描显微镜探针需要针尖尖锐，损耗小，并且需要有屏蔽金属层的特点，本论文利用MEMS工艺，设计和制作了微波悬臂梁探针。用KOH腐蚀出倒金子塔的坑结构，通过低温湿氧氧化使坑更加尖锐，随后填充TiW形成金属针尖，采用氧化硅和氮 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82559]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨永亮. 基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
入库方式： OAI收割
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