InP基中红外分布反馈量子级联激光器器件物理研究
文献类型:学位论文
作者 | 李耀耀 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2009 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 张永刚 |
关键词 | 中红外 分布反馈 全息曝光 痕量气体检测 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
中文摘要 | 本博士学位论文围绕工作于中红外波段的InP基分布反馈量子级联激光器(DFB QCLs)这一主题,以实现室温低阈值分布反馈量子级联激光器为目标,研究和解决了若干单模量子级联激光器的关键科学技术难题,发展和优化了激光器的结构设计和器件制备工艺,建立了较完整的、先进的分布反馈量子级联激光器器件工艺链,用本实验室生长的高质量量子级联激光器材料成功制备了低阈值、高温、宽波长调谐的高性能分布反馈量子级联激光器。本论文工作取得的研究结果如下: 1. 系统总结、分析了QCLs发展的国内外进展、发展趋势和存在的关键科学技术 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
页码 | 144 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82593] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李耀耀. InP基中红外分布反馈量子级联激光器器件物理研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 2009. |
入库方式: OAI收割
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