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InP基中红外分布反馈量子级联激光器器件物理研究

文献类型:学位论文

作者李耀耀
学位类别博士
答辩日期2009
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师张永刚
关键词中红外  分布反馈  全息曝光  痕量气体检测 
学位专业微电子学与固体电子学
中文摘要本博士学位论文围绕工作于中红外波段的InP基分布反馈量子级联激光器(DFB QCLs)这一主题,以实现室温低阈值分布反馈量子级联激光器为目标,研究和解决了若干单模量子级联激光器的关键科学技术难题,发展和优化了激光器的结构设计和器件制备工艺,建立了较完整的、先进的分布反馈量子级联激光器器件工艺链,用本实验室生长的高质量量子级联激光器材料成功制备了低阈值、高温、宽波长调谐的高性能分布反馈量子级联激光器。本论文工作取得的研究结果如下: 1. 系统总结、分析了QCLs发展的国内外进展、发展趋势和存在的关键科学技术
语种中文
公开日期2012-03-06
页码144
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82593]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
李耀耀. InP基中红外分布反馈量子级联激光器器件物理研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2009.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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