电容型微差压伺服传感器设计和制作
文献类型：学位论文
| 作者 | 韩明 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 传感器设计:6630 微差压传感器:5763 电容型:4463 伺服:1240 驱动光束不均匀:596 微机械:514 压力传感器:497 主要工艺流程:462 电容式:391 兼容工艺:340 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 基于微机械加工技术的电容式微差压伺服传感器是一种具有广泛应用前景 的传感器。实现IC兼容工艺后，可以将微机械电容型差压传感器芯片与相应 的接口电路集成在同一硅片上，从而降低制作成本。该器件重复性和一致性好， 具有高的灵敏度和分辨率，能广泛应用于各类需要检测微差压值的空调、管道 系统、仪表仪表中。 论文的第一章对国内外MEMS器件和压力传感器研究进展进行了文献综述， 总结了MEMS技术的应用前景和微机械电容式压力传感器的研究进展。 第二章提出一种带伺服的新型微差压伺服传感器，阐述了该器件的工作原 理及其结构 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82626]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩明 . 电容型微差压伺服传感器设计和制作[D]. 北京. 中国科学院上海冶金研究所 . 2000. |
入库方式： OAI收割
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