电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试
文献类型：学位论文
| 作者 | 黄小振 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微机械陀螺:8164 接口电路:4127 电容式:3752 检测电路:1014 自激驱动:593 振动式:555 等效电学模型:522 电容模型:296 滤波带宽:296 电容检测:279 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 振动式微机械陀螺具有微型化、可集成和批量生产等优点，在航空航天、 武器装备、汽车工业、医疗仪器等领域具有广泛的应用前景。对于电容式微机 械陀螺，检测电容的变化多在aF量级，这对陀螺信号检测电路提出了很高的要 求；本论文针对静电梳齿驱动电容检测微机械陀螺的接口电路进行了深入研究。 首先，根据振动式微机械陀螺的动力学方程，建立了其等效的电学模型； 通过模拟，分析了陀螺灵敏度和带宽等性能，并优化了陀螺的工作参数，比如 驱动频率、模态匹配电压等。 接着，设计了电容式振动微机械陀螺的接口电路，其中包括驱动和检测电 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82665]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄小振 . 电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D]. 中国科学院上海冶金研究所 . 2001. |
入库方式： OAI收割
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