小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李浩 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 导师 | 陆德仁 |
| 关键词 | 加速度传感器:7293 压阻式:4277 小量程:3846 微机械:2928 悬臂梁结构:2194 压阻式传感器:356 传感器设计:246 芯片工艺:228 温度性能:213 制导系统:207 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 小量程微机械压阻式加速度传感器实际中有较为广泛的用途，如汽车ABS 系统、制导系统等都需要高精确度的小量程传感器。压阻式传感器功耗小、电 路结构简单。小量程压阻式加速度传感器量程可达±1g，分辨率可达1mg，线 性度优于0.5％。 论文的第一章讨论了MEMS技术的应用以及应用前景、微机械加速度传 感器的种类和研究进展，还介绍了本工作用到的一些微机械加工方法。 第二章详细论述具有悬臂梁结构的压阻式加速度传感器芯片的工作原理、 分析计算了器件的静态、动态特性和温度性能，在此基础上确定了结构参数。 第三章详细阐 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82679]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李浩 . 小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究[D]. 中国科学院上海冶金研究所 . 2001. |
入库方式： OAI收割
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