单片集成MEMS红外传感器中的低噪声CMOS接口电路研究
文献类型:学位论文
作者 | 姚镭 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2007 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 熊斌 ; 李铁 |
关键词 | 放大电路 斩波技术 单片集成 红外传感器 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
中文摘要 | 随着红外传感技术在军事和民用领域越来越广泛的应用,红外传感器的研究逐渐向着低成本、小型化方向发展,采用MEMS技术制作的非致冷红外探测器以其能耗低,重量轻,体积紧凑,且开机预热时间短和成本低等优点倍受关注。作为非制冷红外探测器的一种,热电堆红外探测器的结构简单,所用的材料与IC工艺完全兼容,与外围信号处理电路进行单片集成后,就可以进一步降低成本,满足小型化的要求。 本文的研究工作围绕单片集成的热电堆器件展开,主要包括两方面的研究内容:一是基于商用0.18um CMOS工艺中可以利用的材料和版次设计热电堆红 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82718] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚镭 . 单片集成MEMS红外传感器中的低噪声CMOS接口电路研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 2007. |
入库方式: OAI收割
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