转动竖直微镜的硅微机械光开关研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨艺榕 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微机械 光开关 竖直微镜 球透镜 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文提出一种1×2扭转竖直微镜光开关，微镜采用(110)硅腐蚀制备而成，执行器采用变间隙的电容驱动器，光耦合采用球透镜进行，并制作1×2光开关器件。 直接光纤耦合的微机械光开关损耗较大，但光束准直后再耦合可以降低损耗。本文采用球透镜光纤进行光耦合，仔细分析了影响耦合效率的各种因素。高反射率薄膜是微镜的一个组成部分，对金属薄膜的反射特性进行了计算，金和铝是很好的反射膜镀层，饱和反射率达到97％，膜厚200nm。在入射角不大的情况下，偏振相关的反射率相差很小。 角度偏转是光操作的一种方式，在光开关和光衰减器 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82750]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨艺榕 . 转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
入库方式： OAI收割
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