硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 徐玮鹤 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | 电容式加速度传感器 硅-硅键合 圆片级真空封装 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 电容式微加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点，可以广泛应用在对性能要求较高的领域，如惯性导航、空间微重力测量及石油勘探等。其结构通常可以分为梳齿式和三明治式两种。梳齿结构工艺比较简单，但受DRIE工艺的最大深宽比的限制(约25：1)，这种结构较难兼顾厚质量块和小电容间隙，因而检测精度一般偏低。三明治结构的加速度传感器虽然在工艺方面比较复杂，但容易实现高的检测精度。 首先，对三明治结构加速度传感器进行了整体设计。传感器为四层硅结构，上下两层为固定电极层，中间两层为硅—硅键合的双面梁—质量块 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82759]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐玮鹤 . 硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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