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GaInAsSb红外探测器的器件与物理研究

文献类型:学位论文

作者李志怀  
学位类别博士
答辩日期2003
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师夏冠群  
关键词GaInAsSb 红外探测器 欧姆接触 合金化 探测率 硫钝化 增透膜 放大器  
学位专业微电子与固体电子学  
中文摘要Ⅲ-Ⅴ族半导体化合物GaInAsSb材料,随着材料组分变化,它的带隙在1.42~0.1 eV的范围内变化,覆盖了1~3微米、3~5微米、8~14微米三个重要红外波段。与GaSb衬底晶格匹配的GaInAsSb的禁带宽度可以覆盖从1.7μm至4.3μm的波段,这种材料在红外成像、污染监测、工业控制等方面有重要的实用价值,同时在未来的超低损耗光纤通信中又具有潜在应用。GaInAsSb红外探测器是一种新型化合物半导体材料红外探测器,具有响应速度快、灵敏度高、稳定性好、成本低、易于集成、器件性能均匀性好等优点,特别
语种中文
公开日期2012-03-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82775]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
李志怀  . GaInAsSb红外探测器的器件与物理研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2003.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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