MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器的接口电路设计和测试
文献类型：学位论文
| 作者 | 包涵菡 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 谐振微悬臂梁 闭环系统 锁相环 相位噪声 等精度频率计 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 谐振式微悬臂梁生物传感器具有超高灵敏度和质量检测分辨率，能够实现单细胞量级的微量检测，此外它还可以摆脱传统生物检测方式所需的庞大设备，实现便携式应用，因此引起了广泛的关注和研究。本文主要探讨了适合谐振式传感器使用的接口电路，并利用接口电路实现闭环测试，以满足生化传感器所需的高分辨率的检测要求。 研究发现，谐振式微悬臂梁生物传感器的质量检测分辨率与悬臂梁的有效质量、谐振频率和闭环电路的相位噪声有关，有效质量越小、谐振频率越高、相位噪声越小，传感器的质量分辨率也就越高。有效质量和谐振频率只有通过改变悬臂梁的结 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82794]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 包涵菡 . MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器的接口电路设计和测试[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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