“8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王育才 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 焦继伟 |
| 关键词 | 微加速度计 8悬臂梁-质量块 微机械加工 各向异性腐蚀 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微机械加速度传感器是一种重要的惯性器件，在航空航天、汽车工业、石油探测和地震预报等领域中有着广泛的应用。电容式加速度传感器由于具有测量精度高、噪声特性好、漂移低、温度敏感性小和功耗低等优点，受到了广泛关注，是当前微硅加速度传感器的发展主流。 本文提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计，用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件并完成了初步测试。该加速度计的惯性质量块由在同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑，这些悬臂梁是利用(111)硅在K |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82798]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王育才 . “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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