微机械反射式光读出非制冷红外成像阵列器件研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨广立 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 熊斌 |
| 关键词 | 微机电系统 反射式光读出非致冷红外成像阵列器件 双材料梁-微镜一体化 热-机械灵敏度 等效噪声温差 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 近年来，随着MEMS技术的发展，基于MEMS技术的光读出非致冷红外成像器件由于不需要昂贵的致冷设备和复杂的读出电路，成为研究的热点。 本文研究了针对8-14μm红外波段的反射式光读出非致冷红外成像阵列器件。像元基本结构为：一个起吸收红外辐射和反射读出可见光作用的微镜、两条对热感应的双材料梁、两条防止热量过快散失的绝热梁和两个起支撑固定作用的锚点。 论文首先介绍了像元的理论设计基础。并针对双层材料结构的微镜自身由于双金属效应发生的弯曲，提出了两种具体的像元结构，分别为微镜在双材料梁延长方向上的a像元和在回折 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82815]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨广立 . 微机械反射式光读出非制冷红外成像阵列器件研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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