SnO_2纳米结构与BaZr_xTi_(1-x)O_3铁电移相器
文献类型:学位论文
作者 | 应战 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2007 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 宋志棠 ; 王雨 |
关键词 | SnO_2纳米结构 BST BZT 移相器 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
中文摘要 | 纳米材料的制备和性能研究是近几十年来国际上各领域的学者关注的焦点,材料有一个维度在纳米尺度就可以称为纳米材料,本文以一维SnO_2纳米结构为代表,着重研究了半导体纳米结构制备、性能研究;二维Ba_xSr_(1-x)TiO_3、BaZr_xTi_(1-x)O_3纳米薄膜的制备、性能研究以及基于BZT薄膜的移相器研制,开展了多方面创新性的实验工作。取得了如下结果: 1.研究了Vapor-Liquid-Solid(VLS)机理的热蒸发制备纳米结构技术,采用催化剂辅助方法,制备了SnO_2线状,带状等纳米结构,S |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82819] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 应战 . SnO_2纳米结构与BaZr_xTi_(1-x)O_3铁电移相器[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 2007. |
入库方式: OAI收割
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