1.3um超辐射发光二极管的工艺、性能测试与光学膜的优化设计
文献类型:学位论文
作者 | 陈丽芬 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2008 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 李晓良 |
关键词 | 超辐射发光管 器件工艺 光学膜 特性测量 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
中文摘要 | 超辐射发光二级管因其大的输出功率、较宽的光谱、短的相干度等优良特性,广泛应用于光纤陀螺、光学层析成像系统、波分复用系统及光处理系统中。目前对超辐射发光二极管的理论研究已经比较成熟,而对更高性能的器件需求迫使我们从器件的工艺和结构上进行努力,因此本文重点研究了SLD的工艺过程,并得到以下结果: 在倾斜脊条结构的超辐射发光二级管的工艺制作过程中,比较关键的工艺过程主要有:一、光刻波导工艺,为了减少光在波导传输过程中的损失,应尽量保证波导边缘的光滑,因此在光刻波导时,要求显影后光刻胶边缘条形清晰,在其它参数选择 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82839] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈丽芬 . 1.3um超辐射发光二极管的工艺、性能测试与光学膜的优化设计[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 2008. |
入库方式: OAI收割
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