中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
1.3um超辐射发光二极管的工艺、性能测试与光学膜的优化设计

文献类型:学位论文

作者陈丽芬  
学位类别硕士
答辩日期2008
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师李晓良  
关键词超辐射发光管 器件工艺 光学膜 特性测量  
学位专业微电子学与固体电子学  
中文摘要超辐射发光二级管因其大的输出功率、较宽的光谱、短的相干度等优良特性,广泛应用于光纤陀螺、光学层析成像系统、波分复用系统及光处理系统中。目前对超辐射发光二极管的理论研究已经比较成熟,而对更高性能的器件需求迫使我们从器件的工艺和结构上进行努力,因此本文重点研究了SLD的工艺过程,并得到以下结果: 在倾斜脊条结构的超辐射发光二级管的工艺制作过程中,比较关键的工艺过程主要有:一、光刻波导工艺,为了减少光在波导传输过程中的损失,应尽量保证波导边缘的光滑,因此在光刻波导时,要求显影后光刻胶边缘条形清晰,在其它参数选择
语种中文
公开日期2012-03-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82839]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈丽芬  . 1.3um超辐射发光二极管的工艺、性能测试与光学膜的优化设计[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2008.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。