一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器
文献类型：学位论文
| 作者 | 毛健 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | 电容式加速度传感器 硅硅键合 圆片级真空封装 电容间隙控制 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微机械加速度传感器是一种很重要的惯性器件。电容式微加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点,可以广泛应用在对性能要求较高的领域,如惯性导航、石油勘探、地震监测和空间微重力测量等。 针对地震波检测的具体要求,在以前制作传感器基础上,本文设计、制作了一种电容间隙精确可控的高对称电容式加速度传感器。由于硅玻璃键合带来的引线困难和较差的温度特性,采用硅硅键合技术实现了全硅结构加速度传感器的制作;高温条件下的圆片级硅硅键合,可以保证一定的真空度,有效地减小了器件的热机械噪声;不用湿法腐蚀的方法,而通过 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82880]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛健. 一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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